在真空炉中，工件为阴极，另设一附加阳极，阳极和工件间通上高压直流电，输入含硫气体。工体和阳极间产生辉光放电，含硫气体电离产生硫阳离子井轰击工作表面，形成渗硫层。该工艺特点是：1、处理温度低（约160℃～230℃），不影响工件硬度和原有精度。2、工件不氧化，不脱碳，表面光洁。3、渗层厚度及成分可控。4、无污染排放，属热处理作业绿色工程。可用于碳素结构钢、碳素工具钢、合金结构钢、轴承钢、高速钢，铸铁及硬质合金制作，如轴承、齿轮、轧辊、拉伸模、刀具等。